图书介绍

光电材料及光波导探测器的设计与研制【2025|PDF|Epub|mobi|kindle电子书版本百度云盘下载】

刘淑平著著
出版社：北京：兵器工业出版社
ISBN：7801721187
出版时间：2003
标注页数：124页
文件大小：23MB
文件页数：135页
主题词：半导体材料－晶体结构－结构分析；半导体材料－生产工艺

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图书目录

第1章Ge、 Si的晶体结构1

Ge、 Si的晶体结构1

晶向和晶面7

锗硅晶体的各向异性17

第2章 GeSi异质结及超晶格的基本特性24

GeSi应变层的临界厚度及超晶格的稳定性24

GeSi合金的折射率的计算30

GeSi合金的等离子色散效应31

第3章 PN结34

PN结34

过渡区的电势分布和结电容36

PN结的电流—电压特性41

PN结的击穿现象50

第4章半导体工艺59

扩散59

氧化技术原理70

物理气相淀积（PVD）和化学气相淀积（CVD）81

第5章光波导器件84

三层平面波导的基本理论84

有效折射率的数值解法90

SOI光波导的有效折射率的计算及其波导层厚度的设计92

GeSi／Si异质结平面光波导的光场分析与设计98

第6章光电探测器106

Ge0.Si0.4／Si应变超晶格光电探测器的光场分析与设计106

P-Ge0.05Si0.95／P-Si及Ge0.6Si0.4／Si SLS探测器的制作113

P-Ge0.05Si0.95／P-Si异质结及GeSi／Si SLS探测器的测试与分析118

参考文献122